金宏气体:氩气可用于深紫外光刻激光器中半导体芯片的最小特点的图案上

  上证报中国证券网讯 金宏气体6日正在互动平台上答复投资者发问时透露表现,氩气被用于等离子堆积以及蚀刻工艺,还可用于深紫外光刻激光器中半导体芯片的最小特点的图案上。


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